全自動光譜儀橢偏儀M300是一種全自動變角光譜儀橢偏儀和深紫外光譜橢偏儀,具備250-1100nm的光波長，并且具有全自動更改入射角的功效。全自動spectroscopic ellipsometer從深紫外到能見光再從近紅外光.深紫外光波長橢偏儀特別適合精確測量纖薄薄膜薄厚，例如納米技術薄膜薄厚，例如硅晶圓的薄膜薄厚，典型值在2nm以內(nèi)。針對精確測量很多原材料的帶隙，深紫外光譜橢偏儀也很重要。（請搜索聯(lián)絡孚光精儀企業(yè) ）

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橢圓偏振技術性是由科學研究光線在樣版表層反射面后偏振態(tài)變化和得到表層薄膜薄厚等相關信息的薄膜測量技術。

與反射面計或反射光譜技術不一樣的是，光譜儀橢偏儀主要參數(shù)Psi 和Del并不是在普遍入射角下得到。根據(jù)更改入射角尺寸，可得到很多組數(shù)據(jù)信息，這個就十分有利于提升橢偏儀精確測量薄膜或樣版表層的水平，因而變角橢偏儀作用遠大于固定不動角橢偏儀。

更改橢偏儀入射角的辦法主要有兩種，一種是手動調(diào)節(jié)，一種是調(diào)節(jié)入射角，大家可以提供二種方式的橢偏儀。

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全自動光譜儀橢偏儀M300特點（請搜索聯(lián)絡孚光精儀企業(yè) ）

便于組裝，拆裝與維護

*的光學系統(tǒng)

全自動更改入射角，入射角分辨率高達0.01度

大功率250-1100nm燈源適宜多種多樣運用

選用陣型探測儀保證快速精確測量

精確測量薄膜膜堆的薄膜厚度折光率

適合于實或在線監(jiān)控薄膜厚度折光率

具備完備的光學常數(shù)數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)

給予技術工程師方式，服務方式和用戶模式三種應用方式

靈活多變的技術工程師方式適用于各種各樣安裝設置和電子光學實體模型精確測量

一鍵快速測量

自動式校準和復位

高精密試品自準直頁面立即試品自準直，不用附加電子光學

高精密相對高度和歪斜調(diào)節(jié)

適宜不一樣材料及不一樣后試品基板硅片

2D和3D數(shù)據(jù)顯示導出

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全自動光譜儀橢偏儀M300主要參數(shù)

光波長：250-1100nm

光波長屏幕分辨率：1nm

測量點尺寸：1-5mm可調(diào)式

入射角：10-90度可調(diào)式

入射角屏幕分辨率：0.01度

能品尺寸：達到300mm 孔徑

能品薄厚：達到20mm

精確測量薄膜薄厚：0nm ---30um

精確測量時長：~1s/點

精密度：~0.25%

重復精度：